피앤에이 솔루션즈
WP-2D
10년
주장비
계측
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2021-12-29
43,520,000원
기관의뢰
고정형
시간별
40,000원
본 장비는 현재 플라즈마를 이용한 공정을 하는 반도체 공정용 챔버의 내부에 플라즈마의 밀도 및 분포를 2차원 측정을 통하여 플라즈마에 대한 형상 및 특성을 규명할 수 있는 장비임.
(1) 2차원 플라즈마측정기 Controller 1대
(2) 2D Probe Unit 1개
(3) Computer (Notebook PC) 1대
(4) Software Installation USB 1개
(5) D-sub Data Cable 1개
(6) USB Cable 1개
(7) AC Power Cable 1개
(8) GND Cable 1개
(9) Check Load Cable 1개
(10) Vacuum Feedthrough 1개
(11) User Manual 1부