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- i-Tube No. 2112-D-0084
- NTIS No
- 설치기관 충북대학교산학협력단
- 주소 충청북도 청주시 서원구 충대로 1 (개신동, 충북대학교)
- 담당자 강문희 (T. )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
Keithley
-
모델 명
Keithley 4200
내용연수10년
-
구분
주장비
용도분석
-
표준 분류
전기·전자장비 > 측정시험장비 > 전압/전류/전력측정시험장비
-
취득일
2021-12-03
취득금액48,550,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
기타
장비 사용료1,000원
장비설명
반도체의 Wafer 상태 및 디바이스 상태에서의 전기적 물성을 측정하는 고정밀급 반도체용 계측장비로서 반도체의 동작 전압측정, 동작전류측정, 누설 전류측정, 브레이크 다운 전압측정, 전도도 및 저항 측정, 디바이스 수명예측, Hot Carrier Test 등 다양한 파라메터를 측정 할 수 있다. 소자 측정 시 내장 가능 한 Pulse I-V 기능을 이용하여 기존의 self-heating으로 인한 측정 오차를 제거하여 더욱 정밀한 측정을 가능하다.
장비 구성 및 성능
전압공급-범위±200mV/ ±2V/ ±20V/±200V분해능5μV at 200mV range 정밀도0.02%
전압측정-범위±200mV/ ±2V/ ±20V/±200V 분해능1μV at 200mV range 정밀도0.012% 안정화 시간less then 100μs to 0.1% 입력 임피던스> 10 Gohm
전류공급-범위±1pA to ±100mA 분해능50pA at 1μA range
전류측정-범위1pA to ±100A 분해능 : 100aA at 1pA range
2채널의 SMU 모듈과 1개의 PreAmp모듈로 구성되어 3 Terminal FET 측정이 가능한 구성
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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