○ X축 이송 유닛
이송거리 120 mm(200mm 옵션)
분해능 0.01um(정밀 Cerodur 리니어스케일 적용)
측정속도 0.05 – 5 mm/sec
이송속도 Max. 200 mm/sec
진직도 120 mm 전 구간에서 0,2 μm 이하
틸팅가능 각도 ±45°
구동방향 +X 방향
조도 측정 유닛 : 측정범위 ±400um(분해능 1nm)/±800um(120mm 암 적용 시/분해능 2nm)
측정 방식 조도 프루브암(스타일러스) 접촉, 스타일러스 자석 체결 방식
형상 측정 유닛 : 측정범위(형상) 60mm(분해능 10nm)/90mm(TD90사용 시,분해능 15nm)
측정 방식 형상 스타일러스 접촉, 프루브 암 자석식 결합 방식

○ Z축 이송 유닛
이송거리 500mm(800mm 옵션)
이송속도 Max. 80 mm/sec
분해능 0.1um(리니어스케일적용)
위치 반복도 20 μm 이하
구동방향 +(상) -(하) 방향
진직도(X축) 120 mm 전 구간에서 0,2 μm 이하
X축 거리 불확도 MPEEA = ±1.2 + L/100)μm L in mm
측정압 조도 0.9mN, 형상 ~5mN(프로그램에서 조절 가능_)
틸팅기능 X축이송유닛 ±45°틸팅가능
조도센서 90°꺽어서(Transverse) 사용 가능
컷 오프Cut-off [mm] 0.08/0.25/0.8/2.5/8

○ 필터
EN ISO 11562, part 1 가우스 (M1) 디지탈필터 [mm], cut-offs 0.08/0.25/0.8/2.5/8
EN ISO 13565-1 2-fold Gauss (M2) Rk parameters, cut-offs 0.08/0.25/0.8/2.5/8
ISO/TS 16610-31 robust 가우스필터; cut-offs 0.08/0.25/0.8/2.5/8
ISO/TS 11610-21 리니어가우스필터
ISO/TS 16610-22 리니어스플라인필터
ISO 3274/11562 short-wave cut-off λs, selectable in λc or manually

○ 측정가능한 표준 규격
EN ISO 4287:2010
EN ISO 13565-2
EN ISO 12085
JIS B-0601
EN 10049
SEP 1941, ISO 4287:1987
DIN 4762, MBN 31 007

○ 필러 분산도 측정
Dispersion Coefficient
Dispersion Index
Total Defect Area & Area%
미분산 필러 개수 측정 가능 범위 : 2㎛ ~ 5㎛, 5㎛ ~ 10 ㎛, 10㎛ ~ 15㎛, 15㎛이상