◯ 일반적 성능
- 스캔(측정)거리 :≧ 150mm ( 이어붙이는 기능 없이)
- 측정 속도 : 2um to 25mm / sec
- 측정 검출 횟수 : ≧ 2,000Hz
- 단차 측정 분해능 : ≦ 1 Angstrom / 6.5um range
- 탐침 측정 힘 : ≦ 0.5mg
- 최대 단차 측정 영역 : ≧ 327um

◯ 측정 재연성
- 단차 반복 측정 재연성 (1 Sigma)
: ≦ 0.4nm @ ≦ 10,000 Angstrom ( 10회 반복 측정)
: ≦ 0.1% @ ≧ 10,000 Angstrom 영역 경우

◯ 측정 시료 측정 조건
- 스테이지 모터 움직임 : ≧ 150mm 지름 원형 (Diameter)
- 스테이지 회전 각도 : ≧ 360 degree
- 최대 측정 가능 시료 두께 : ≧ 20mm
- 최대 측정 시료 무게 : ≧ 1 Kg

◯ 기울기 조정
자동 데이터 기울기 조정
소프트웨어조정으로 기울기 조정 가능

◯ 데이터 분석/ 출력
- 데이터 출력 : 측정 파일 출력, 거칠기, 데이터 취합
- 자동 스테이지 기울기 조정 가능