엘에이티
모델명 없음
9년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터
2022-01-14
240,118,800원
없음
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기관의뢰
고정형
시간별
100,000원
스퍼터링은 진공 챔버 안에서 일정한 양의 반응가스와 전력을 타겟에 공급하여 글로우 방전일어나고 방전 영역에 존재하던 원자 분자 이동등 높은 에너지를 가진 입자들이 타겟의 표면과 충돌할 때 충돌한 물자의 에너지가 타겟 표면 물질의 결합 에너지 보다 크면 타겟의 물질이 밖으로 튀어나오는 원리를 이용하여 기판에 증착시키는 공정
Sputter Gun : DC type 2ea, RF type 1ea, 6inch Magnetron
Power supply : DC Power 1kw, RF Power 600w
Substrate Size : 8inch Max
Gas Supply Unit Ar외 2ea Normal Gas
Rotation Unit 5-20 RPM Adjustable
Heating Unit