Hirox
HRX-01
11년
주장비
계측
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 디지털현미경
2021-10-25
79,200,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
60,000원
- 반도체 산업분야에서 지속적으로 회로 패턴의 미세화가 진행됨에 따라 포토 공정 등 반도체 공정이 완료된 후, 미세한 패턴의 구현 여부를 제대로 관찰/판별하는 측정 장비가 필요함
- 최소 1um의 미세패턴을 관찰하기 위한 용도로 최고 배율 5,000배까지 확대 가능한 렌즈를 이용하여 보다 빠르고 정확하게 패턴 구현 여부 등을 판단할 수 있음
A) CMOS 카메라
- 507 만 화소 CMOS 화상센서 실효 화소
2448(H) x 2048(V) / 2040(H) x 1530(V) Pixels 이상
- 최대대응화상사이즈 : 50000(H) X 50000(V)픽셀
- 광원 : LED (수명 30,000 시간 이상)
B) 렌즈부
- 최소 20 배~최대 5000 배 관찰가능
C) 모니터 및 컨트롤러
- 50000*50000 픽셀 이상 표현 가능할 것(2D)
- 20000*20000 픽셀 이상 표현 가능(3D)
- 오토 포커스 및 멀티 포커싱 가능
D) 스탠드
- XYZ 축 전방향 조절 가능(전동)
- 각도 틸트 가능
- Z 축 스트로크 8cm
- XY 축 스트로크 각각 10cm
E) 콘솔
- XYZ 축 전동 컨트롤 조그 탑재
- 15 개의 퀵버튼 및 버튼 기능 변경 가능
(이미지 저장, 3D 합성 등 주요 기능)
F) 소프트웨어
- 3D 형상 구현 및 3D 프로파일 가능
- 3D 포인트높이 측정 및 체적 측정 가능
- 조도(거칠기)측정 가능