2. 세부규격(Specification)
2.1. 사용온도
- 2200℃(Max 2300℃)

2.2. Usable Working Space
- Φ150 x 200Hmm

2.3. 온도제어
- PID+SCR제어
- Heat up rate/Cooling rate 시간조절 가능
- ±3℃ 로 제어
* 제품에 부착한 TC와 I.R를 기준으로 온도자동제어
* KOLAS 검교정이 완료된 제품 사용
* 투시창 오염을 막는 장치

2.4. 진공펌프(압력/Leak rate)
- 10-5Torr
- 1시간 내 상기(10-5Torr)진공압력 도달
- 진공압력 확인할 수 있도록 압력게이지 구성
- Leak rate : 20umHg/1hr 이하

2.5. 진공센서
- 챔버 내부 2개 이상의 진공센서 설치
- 검교정이 완료된 제품 사용
- 탈부착이 편리하도록 설치

2.6. Heat up rate
- Heat up rate : 30℃/min 이상으로 제어
800℃까지는 H₂분위기로 승온, 800℃에서 Ar로 치환 후 최고온도까지 승온

2.7. MFC 설치하여 (Ar, H₂용) Chamber 내부의 Hot Zone으로 Gas가 바로 투입 되도록 한다

2.8. Material
- 열변형에 충분히 견디는 자재로써 마감 처리할 것(STS + Graphite)
-고온(2200℃)/고진공(10-5Torr)의 분위기에도 견딜 수 있을 것

2.9. Heater
- Graphite 재질
- 불순물 오염을 막기 위해 5PPM 이하의 제품 사용

2.10. 단열재
- rigid graphite felt 재질
- 불순물 오염을 막기 위해 5PPM 이하의 제품 사용

2.11. Door sealing
- Door 기밀이 완벽히 이루어질 수 있도록 Sealing/Packing 처리할 것

2.12. 이그나이터, 방폭밸브 수소 Burning을 위한 장치 설치

2.13. Operating Panel
- 조작 Panel 독립 구성하여 장비 측면에 부착할 것(장비 일체형으로 제작할 것)
* 온도표시장치(온도컨트롤러)
: R Type + I.R
* 온도단위 : 0.1℃
* 진공단위 : Torr
- 작업자 스스로 작업 프로그램 생성 가능
* 데이터 입력 및 저장/불러오기/수정/작업이 가능할 것

2.14. Interlock
- 과온방지장치/과부하차단장치, 냉각수, 압축공기

2.15. Chiller
- 7.5RT 이상의 성능

2.16 Utility
- 압축공기
- 사용가스(H₂,Ar)

3. 표준 부속품(Standard Accessories)
진공펌프, 진공센서, MFC, 이그나이터

4. 선택부속 또는 추천부속품(Optional Acc or Recomended S/P)
해당없음

5. 용도 및 AS기간 등
5.1 용도: 2200도의 최고온도에서 진공 또는 환원성 가스, 비활성가스 분위기에서 열처리가 가능한 장치
5.2 AS기간: 1년