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- 3D optical surface metrology system
- 3D 광학 표면 계측 시스템
- i-Tube No. 2111-A-0250
- NTIS No NFEC-2021-11-274520
- 설치기관 (재)울산테크노파크
- 주소 울산광역시 중구 종가로 15 울산테크노파크
- 담당자 김종국 (T. 052-219-8735 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
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장비정보
-
제작사
Olympus
-
모델 명
OLS5000
내용연수10년
-
구분
주장비
용도분석
-
표준 분류
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 공초점현미경
-
취득일
2021-11-24
취득금액133,900,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
건별
장비 사용료원
장비설명
3D 광학 표면 계측 시스템은 기존의 광학 현미경과는 달리 레이저를 장착하여 기존의 할로겐 또는 수은 램프에서 얻을 수 없는 고 해상도의 이미지를 얻을 수 있다. 레이저의 단파장성을 이용하여 특정 파장의 상태를 관찰이 가능하다.
장비 구성 및 성능
- 종합 배율 : 17,280배 이상
- 다이내믹 레인지 (대상 물체로부터의 수광량 적응 폭) : 16 bits 이상
- 표시 분해능 : 5nm(높이 측정), 10nm(폭 측정) 이하
- 정확도 : 측정값의 ±2.0% 이하
- XY 스테이지 : 100mm x 100mm 이상
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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