○ 장비의 구성
1. 주장비(Main body)
(1) Illuminator: White LED light source using interferometer
(2) Camera
(3) Motorized Turret with 4-position or more
(4) Image Zoom lens
(5) Objectives
(6) Sample stage
2. 부속장비(Accessories)
(1) Software for analysis
(2) PC system
○ 장비의 성능
- 정확하고 신뢰성 높은 3D 이미지 구현
- 최적 측정조건(정확한 autofocus 등)을 자동으로 찾아 측정
- 주변 환경의 진동 효과 최소화(Vibration isolation) 등으로 이미지 정확도 구현