1. 표면조도 : <6.0 nm Ra @ 7.5 mm Concave Radius
2. 형상정도 : <0.3 um P-V @ 7.5 mm Concave (마스터 시편 : 10mm Ida. PMMA blank)
3. X.Z or y 슬라이드 속도 : ~3,000 mm / min
4. 위치 피드백 분해능 : 8.6 nm
5. 표준 수윙 캐파 : 25 mm dia. w/ 50 mm Collets w/ vacuum chuck
6. 축방향, 원주방향 강성 : Axial 105 N/um, Radial 35 N/um
7. 가감속 사이클 시간 : ±5.0 arc-sec (± 5/3600 “)
8. 작업스핀들 최고속도 : 10,000 RPM 이상