구성
1) 공정 챔버(Chamber) 모듈 1 set
2) 열증발원 모듈 1 set
3) 두께제어 모듈 1 set
4) 진공 모듈 1 set
5) 가스 이송 모듈 1 set
6) 제어 모듈 1 set
7) 시스템 프레임(system frame) 모듈 1 set

성능
120mm×120mm 이상 크기의 기판 1장 또는 다른 크기의 기판의 크기 합이 해당 사항을 충족. (25x25 mm 기판 16장 이상)
Effusion cell 2 set 이상. 각 effusion cell은 6 cc 이상의 crucible volume을 가지며 최대 650oC 이상의 온도를 달성 가능.
각각 두 개의 저진공/고진공 달성을 위한 Rotary 및 Turbomolecular pump를 통하여 6시간 내에 5x10-7 torr 이하의 진공도를 달성.