구성
1) 공정챔버 모듈 1 set
2) 열증발원 모듈 1 set
3) 두께제어 모듈 1 set
4) 진공 모듈 1 set
5) 가스 이송 모듈 1 set
6) 제어 모듈 1 set
7) 시스템 프레임 모듈 1 set

성능
본 설비는 150 mm * 150 mm 이상 기판 1개 혹은 25mm * 25 mm 기판 25개 이상을 한번에 증착할 수 있음.
Tungsten boat 3개 이상을 가지고 1.5 kW 이상의 power를 인가하여 금속을 증착 가능.
450L/s 이상의 turbomolecular pump와 600 L/min 이상의 rotary pump를 통하여 6시간 내에 5 x 10-7 torr의 진공도를 달성 가능.