주식회사 신화기계
없음
5년
주장비
생산
화합물 전처리·분석장비 > 분리정제장비 > 증류/농축기
2021-06-18
282,431,950원
기관의뢰
고정형
건별
300,000원
○ 원리- 물질의 끓는점 및 증기압 차이를 이용하여 물질을 분리
- 낮은 끓는점 및 높은 증기압을 갖는 가스상 화합물을 효율적으로 분리하기 위해 가압냉동 조건에서 증류함.
○ 특징 - -80℃ 이상에서 구동하여 낮은 끓는점을 갖는 가스 정제에 적합함.
○ 구성 - 증류탑 (4 set), 압축시스템, 냉동기, 제어시스템
○ 주요성능- 불소화합물을 99.9+% 이상의 고순도로 정제
- 30 atmG, -80~250 ℃ 범위에서 가동
- Feed 유량 2 kg/hr, 정제순도 4N 이상, 부산물 포함 전체 정제가능 사양으로 본 시스템 구성으로 대부분 반도체 가스 정제가능