위아코퍼레이션(주)
WLPR-W300P
5년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2021-08-31
467,041,280원
기관의뢰
고정형
일별
4,000,000원
- Winder와 Unwinder를 통해서 필름이 이송되고. 가공부위에 레이저소스가 설치되어 있어 레이저 빔이 조사됨. 조사된 레이저 빔은 광학계를 통해 원하는 위치에 설정된 세기로 필름을 가공함.
- 레이저 가공후 다시 이동하는 Step and repeat 형식임.
- EPC을 통해서, 필름이 편차 없이 Winding되며, 서브모터를 통해 Tension Control이 되기 때문에 안정적인 필름의 이동이 가능함.
○ Unwinder. Rewinder, 레이저 가공부 3 Part로 구성되어 연속공정에서 안정적인 레이저 가공이 되어야함.
○ 자동적인 Allignment가 가능한 소프트웨어가 제공되어야함.
○ 필름에 손상없이 레이저 가공이 가능해야함.
○ Laser Source
- Duration time : Picosecond
- Wavelength : Green 532nm
- Power : 20W 이상
○ 가공 크기
- 가공 폭 280mm X 280mm 이상
- Vision Allignment System
○ 정밀도
- Overlay position accuracy (±10㎛)
○ 롤투롤 기재 이송 시스템
- Unwinder, Rewinder 서브모터형식의 이송 시스템
○ 레이저 안전부스