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공동활용장비
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- Vacuum Furnace for Nitride
- 질화물용 진공로
- i-Tube No. 2204-C-0117
- NTIS No
- 설치기관 (재)강원테크노파크
- 주소 강원도 강릉시 과학단지로 106-46 (대전동)
- 담당자 김동준 (T. )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
(주)KFCT
-
모델 명
VHF-2200-10
내용연수10년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 전기/소결로
장비활용범위공동활용서비스
-
취득일
2022-04-22
취득금액690,508,720원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
기타
장비 사용료861,000원
장비설명
본 장비는 세라믹 성형체를 N2, Ar, 진공 분위기에서 AlN, Si3N4, 등 비산화물 세라믹을 소성하는 질화물용 진공로(Vacuum Furnace for Nitride)이다.
장비 구성 및 성능
1. 장비 구성
- Horizontal Vacuum Chamber(이중벽 수냉형) 및 Locking 장치
- 가열실(Graphite Heating Element 및 Insulation)
- 전력공급장치
- 제어반(Programmable Control Unit & Touch control panel)
- Rotary Pump, Booster Pump에 의한 진공배기장치
- Gas supply 및 배기장치
- 냉각수 공급 및 제어장치
- UPS(무정전 전원공급장치)
- Lift Car & Utilities
2. 장비 성능
- 최고 사용 온도 : 2200℃ (가스 분위기)
- 유효 규격 : 1000(W) x 1000(D) x 1000(H)mm / 1㎥
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
i-Tube 대표문의 : 1811-9126 / KIAT 대표 콜센터 : 02-6009-3000
