MTDI
LAB COATING MACHINE
5년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2021-07-16
436,903,080원
기관의뢰
고정형
건별
500,000원
○ 원리
- 롤투롤 Wet 코팅 방식은 박막형태의 기능성 필름을 액체 상태에서 기판이나 다른 필름위에 추가하고 추후 건조 공정을 통하여 고체화된 최종 제품을 생산하는 형태로 PET Film 등에 특정 재료를 일정 두께로 코팅하여 열풍 건조, UV경화하고 플라즈마의 다양한 Gas를 이용하여 증착 특성 연구 가능함.
-Un-winder에서 필름 원단이 풀리면서 plasma 처리를 한 후 코팅액에 맞는 헤드를 (Comma Type, Slot-Die Type)를 운영자가 선택하여 코팅을 진행하며, 열풍건조 방식의 Dry 공정과 옵션에 따라 UV 경화 단계를 진행하면서 코팅이 완성되면 후공정으로 Hot Laminating 공정을 거치면서 리와인딩 됨
○ 특징
- Comma Type과 Slot-Die Type을 혼용할 수 있어 다양한 점도를 코팅 할 수 있음.
-플라즈마 처리 및 후공정까지 원스텝 방식으로 진행 가능
○ 건조 및 고에너지 조사
- 건조 길이 : 1M*3 zone (건조온도 : ~ Max 200℃)
- 열풍 / 열풍 + IR heater 혼용
- UV 조사 가능 : (고압)120W/cm (Hg, Metal lamp 혼용)
○ 코팅
- 코팅 유효폭: ≥ 200mm, 편차 : ±5% 이내
- 코팅헤드 : 저점도~고점도 대응 가능 (고정밀 콤마, 슬롯)
- Clean/안전 : 방폭 설계 및 클린부스
○ 표면 세정 및 개질- 표면에너지 조절을 위한 플라즈마 시스템 구축
- 표면 상태 조절 가능
- 다양한 가스 사용 가능 : Ar, He, O2, C2H2, C4F8 등 (MFC 포함, 자동제어)
○ 구성
- WInder : 2 Unwinder, 1 Rewinder, diameter(Max. 300mm)
- 코팅 헤드 : 고점도 코팅용 (콤마, 슬롯다이) 저점도 코팅용 (슬롯다이, 그라비아)
- 건조 Chamber size : 1000mm X 500mm 3zone, 배기 배출 Fan설치
- 플라즈마 처리 시스템 : 402mm X 81mm X 90mm, RF power(1000W)
- UV 경화 시스템: 196mm X 600mm X 280mm, Light source Mercury UV lamp&Metal Halide, 공랭식 쿨링 시스템
- 후공정: 라미네이팅 및 보호필름 부착가능
○ 주요성능
- 코팅 유효폭 : ≥ 200mm, 코팅 편차 : ±5% 이내
- 코팅 가능 점도 범위: 10cps~1,000cps
- 코팅 가능 두께 범위 : 25 ~188μm
- 코팅 속도(롤속도) : 0.1~5m/min
- 건도 온도 :~ Max 200℃, Air Floating Type
- UV 경화기 : 램프 용량 15kW, UV Uniformity : 85%
- 표면에너지 조절을 위한 플라즈마 시스템 구축