(주)가온텍

없음

■ GSS(Gas Supply System) 기능
1. Gas Cabinet 및 Rack
1) 가스공급장치인 Cabinet과 Rack은 모두 공정장비에서 사양되는 가스를 공급해주는 공통의 역할을 가짐.
2) 가스공급장치를 2가지 형태로 분리하는 가장 큰 이유는 취급가스의 형태에 따라 분리되는데 Toxic, Flammable과 같은
특수 가스들은 Cabinet 형태, General과 같은 일반가스들은 Rack형태를 구성함.
3) Cabinet의 경우 가스가 외부로 노출되면 피해를 끼치기 때문에 내부를 상시 음압유지 및 배기Duct가 요구되고 Gas Ra
ck에 비해 Gas Cabinet은 많은 안전 Sensor 장치들을 구축
2. Gas Scrubber
1) Gas Cabinet 및 Gas Rack의 Vent시 System 배관 내에 있는 잔여가스를 대기로 방출하기 전 1차 적으로 장치로 각
각의 Gas에 맞도록 구성하며 폐수 발생이 없는 타입임
2) 자동 충전되는 흡착제(Resin)는 공인인증기관의 인증을 득한 제품을 사용하였으며 가동 중 이상이 발생하였을 경우 상
태를 실시간으로 체크 가능한 통신장치도 구성하였음
3. N2 Purifier
1) 공정장비 및 평가장비에 필요한 PN2 가스를 공급하기 위해 GN2 가스를 고순도 99.999999%이상을 정제시켜 PN2 고
순도 질소가스를 만드는 장치
4. GMS
1) 가스공급시스템 모든 장비의 실시간 모니터링으로 장비의 동작상태를 파악하여 문제 발생 시 피해를 최소화하기 위해 G
MS를 구축하였고 PLC와 별도로 구축되는 Master Panel을 통신으로 가스 통합모니터링 시스템을 방재실에 구축하여
Gas의 현황, Leak 감지, 공급상태등의 종합정보를 확인 할수 있음.

■ 장비의 상세설명
1. Gas Cabinet(독성 : 5대, 가연성 : 4대, 일반 : 7대)
① Cylinder 용량(1EA) : 47L
② Body: Steel(2.3t 이상), 부식방지용 분체도장, Epoxy 도장 마감
③ Door Glass : 철심강화유리(7t 이상)
④ Cabinet Dimension
- 2Bottle Type: 850mm(W)*550mm(D)*2,200mm(H) 이하
- 4Bottle Type: 1,500mm(W)*550mm(D)*2,200mm(H) 이하
- 8Bottle Type: 3,100mm(W)*550mm(D)*2,200mm(H) 이하
⑤ Gas Rack 구조 : 한국가스안전공사 인증 必(필)
⑥ Gas Cabinet Pipe
- Tube 및 Fitting, Regulator, Valve류 등 Material은 SUS316 EP Double Melting 사용
- pigtail은 1/4로 구성하고, Cylinder Connector는 Bearing Type
⑦ Gas Cabinet Controller
- Controller Type: PLC 적용
- HMI(Human Man Interface)를 위한 Touch Screen(10“ 이상) 설치
- Power: AC 220V 1Ph 60Hz
⑧ Exhaust
- 원활한 배기가 가능한 구조일 것
- 배기 부분에 Gas Leak를 감지할 수 있는 Detector를 설치할 수 있도록 측면에 1/4“-Lock Port 구성
2. Gas Rack(일반 : 4대)
① Cylinder 용량(1EA) : 47L
② Body: Steel(2.3t 이상), 부식방지용 분체도장, Epoxy 도장 마감
③ Gas Rack Dimension
- 2Bottle: 850mm(W)*475mm(D)*2,000mm(H) 이하