(주)에스티아이

없음

* 기능
1) 케미컬공급시스템(CSS) 장비는 반도체/디스플레이, 태양광 설비 등 광범위한 분야에서 주요 첨단공정에 사용되는 Che
mical을 적기에 적소로 공급되기 위함을 목적이며 원활한 연구개발 및 시험평가를 진행을 위해 Chemical을 자동으로 이
송하는 장비로서 Chemical이 필요한 공정 장비에 필수 장비임, 케미컬공급시스템(CSU) 주요 공급 공정 장비는 습식식각
기#1/2, PI코팅시스템, 포토트랙시스템, FMM세정기, 습식박리기 6대이며 필요햔 공급량 만큼 Chemical 자동 공급이
가능하도록 장치를 구성
2) VMB는 습식식각기#1에 사용되는 Chemical을 습식식각기#2에 분기 및 공급이 가능하도록 배관 분기박스(VMB)를 설
치하여 공급되는 장치임

* 장비 상세설명
1) 케미컬공급시스템(CSS)
- 특정 공정이나 일부 장비에 필요한 Chemical을 공급하기 위한 필수적인 장치로서 OLED Panel 제작 공정 및 R&D 연구
활동과 이후 신규 사업 수행 시에도 클린룸 및 장비의 운영을 위해서는 필수 불가결한 유틸리티 장비이며 공정장비의 필요
Chemical의 성상에 따라 CSU(Chemicla Supply Unit)의 재질 및 사양을 다르게 제작해야 하며, 주요 구성 품목으로는
드럼, 필터, 펌프, Auto밸브, Manometer, Regulator, Separator, 각종 밸브, 센서류 등으로 구성하였음
2) VMB
- 하나의 Chemical Line을 여러 사용처로 나누기위한 분배 장치로 반도체 제조 공정에 필요한 Chemical을 케미컬 공급시
스템(CSS)로부터 Chemical을 공급받고 보내고자 하는 Fab 장비로 공급하는 배관을 분기하여 여러장비로 공급할 수 있
도록 하는 공급로 확장역할을 하는 장치로서 특수 제작한 Box 안에 여러 개의 Valve가 장착되어 시스템 내부 일정압력으
로 분배하여 다수의 공정장비로 공급이 가능하고 비상시 긴급차단 및 배기가 구성된 장치임
3) Controller Panel
- 각각의 CSU별 PLC를 Touch Screen으로 구축하여 현장에서 직접제어가 가능하도록 구축하였고, 각 PLC와 별도로 구축
되는 Master Panel을 통신으로 연결하여 Master Panel로부터 통합모니터링 시스템과 연계해 방재실 및 공정사무실에
서 Chemical의 현황, Leak 감지, 공급상태 등의 종합정보를 관제할 수 있도록 구성하였음