○ 본체 구성
- Size(mm): 4500 x 1100 x 1985 (h)
- Frame: SS41 Square Pipe frame with anti-corrosive paint coated
1. Chemical bath: Developer 1 set
2. Chemical bath: Etcher 1 set
3. Chemical bath: Striper 1 set
4. Chemical bath: BOE 1 set
5. QDR bath 4 set
6. Hot DI rinse bath 1 set
7. Hot Air dry system 1 set
8. 운영 소프트웨어 1 set

○ 시스템 구성
- Substrate size & load capacity
: 200mm*200mm substrate –1cassette/batch
- Cassettecapacity:1cassette(5nos.)
- Auto cover for chemical bath
- Auto shutter for loader, developer and unloader
- Load/Unload station
- Cassette moving by robot
- Hot DI rinse
- Hot air dryer
- PC control

○ 시스템 성능
- 최대 8 inch (200 x 200 mm2 대응 가능) 크기의 컬러핕터용 포토레지스트 코팅에 대해 패터닝 공정을 수행할 수 있는 장비
- Developer, Etcher, Striper, BOE의 솔벤트 용량이 최대 10 L의 소량의 솔벤트로도 유저가 매뉴얼로 운영이 가능한 시스템
- 로봇팔 운송 시스템을 통한 샘플 운송 기능
- 자동소화장치 설비 내장