○Max. Temp. : 1800℃
- Normal Temp. : 1700℃
- Thermocouple : B type

○ 적재용적: Ф600 ⅹ 500(H)

○ H280%/N220% + wet gas
- MFC unit : H21ea, N22ea

○ 온도편차: 승온시±5℃
- 유지조건: 유지시± 2.5℃
- 냉각조건: ±5℃ 이내

○ 진공배기
- 가스배기: 1 Port

○ 적재하중 : 500Kg