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- i-Tube No. 2106-C-0307
- NTIS No NFEC-2021-07-271818
- 설치기관 한국세라믹기술원
- 주소 경기도 이천시 신둔면 경충대로 3321 (수광리)
- 담당자 강정길 (T. )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
창성 주식회사
-
모델 명
모델없음
내용연수10년
-
구분
주장비
용도시험
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 식각장비
-
취득일
2021-06-23
취득금액373,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
건별
장비 사용료9,999,999원
장비설명
EUV 블랭크 마스크 기판용 세정장비로 박막 공정 전후 세정 용도의 장비임
최대 기판 크기는 160x160mm 임
이외 Si 및 Glass 기판에 대해서도 수용 가능하며, Si 기판의 경우 8in 까지 수용 가능함
장비 구성 및 성능
○ EUV 블랭크마스크용 기판 증착 공정 전·후 세정
○ 반도체 노광장치용 광학부품 (반사경, 렌즈 등) 성막 공정 전·후 세정
○ substrate 크기 : 150mm
○ DI, N2 처리 가능
○ 산/염기 처리 가능 여부
○ SC1 처리 가능 여부
○ Dry 기능 필요
○ Clean도 < 1000
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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