소결된 세라믹 기판의 내부 기포 및 크랙 등 결함 여부 검사
기판 내부 인쇄된 전극 패턴 형상 검사
-구성
X-ray 발생장치(Tube), X-ray 영상장치(Detector), X-ray 차폐장치, 내부구성 전장제어, Axis, CT분석 시스템(PC, 모니터, SW)

○ X-ray tube system
- 관전압(kV) 160kVp
- 관전류(µA) 200 µA
- Focal spot 0.9㎛
- Max. Power 32W

○ Detector System
- Detector type : FPXD
- Image Intensifier : 5 inch
- Resolution 1.6M

○ Table size : 650 × 550 ㎜
- Rotating/Tilt : Max. 360o /° Max. 70o
- Shield Box Dim. 1760(W) x 2150(D) x 1640(H)