○ 구성
- Mask Aligner Tool System
Mask size : 14.25 inch × 14.25 inch, 샘플 크기 최소 200 mm × 200 mm의 필름 및 글래스에 대응 가능함
- UV Light Exposure Optic (UV Light source 350 ~ 450 nm, Light uniformity : <±3%)
- Motorize Scope Module Joystick & Touch Moving Stage: X,Y,Z Axis motorize, Objective spacing : 70∼200 mm
- Alignment Stage & Control Module Stage Moving : X,Y,Z and Theta Axis, Contact Mode : Vacuum / Hard / Soft, Alignment Accuracy : <±1.0 ㎛
- Printing Resolution (Vacuum Contact : 2um (Thin PR@Si Wafer), Alignment Accuracy : Top side align, <± 1.0 ㎛ (@Thin PR Thickness 1㎛))
- Utilities requirement (Electric power : 220VAC, 40 Amp, Vacuum : < -200 mbar)

○ 주요성능
- 연속적인 공정 중 마스크 정렬과 노광을 담당하는 자동화 기능이 내장됨
- 재현 가능한 정밀 패터닝 구현 가능- 샘플 크기 : 최대 12 inch 급 (필름: 200 mm × 200 mm) 패터닝 가능- Printing resolution : Vacuum Contact (2um, Thin PR@Si Wafer )
- Alignment Accuracy : <± 1.0 ㎛ (@Thin PR Thickness 1㎛ )