i-Tube

장비정보

제작사
삼화에이스
모델 명
모델명없음

내용연수
9년
구분
주장비

용도
기타
표준 분류
기계가공/시험장비 > 열유체장비 > 항온/항습기

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2024-11-06

취득금액
947,382,450원
인증정보
없음
기능
- 클린룸에 요구되는 적정 온습도를 제공

- 외부 공기를 적합하게 처리하여 클린룸에 제공

- MAU를 통해 급기제공

- DCC를 통해 클린룸 내 발생하는 현열온도 관리

- PMS를 통해 상대습도 관리
장비 상세설명
디스플레이 혁신공정센터는 클린룸을 운영하며 클린룸은 요구되는 온습도 조건이 있습니다.

공조시스템은 이러한 클린룸 온습도 조건을 제공하는 역할을 합니다. MAU같은 경우는 외부 공기를 적합하게 처리하여 공급하는 장치로 외기를 용도에 맞는 조건으로 필요한 곳에 공급합니다. DCC는 공정장비, 인원을 통해 발생되는 현열을 흡수하는 발열을 처리합니다. PMS는 상대습도 55 +- 5%를 위해 수분무 가습을 합니다.

이용안내

사용형태
직접사용

설치형태
고정형
사용료 형태
기타

장비 사용료
[Hr] 1원

장비설명

디스플레이 혁신공정센터 클린룸의 구동을 위한 온습도 제어 장치로, 외부 공기를 적합하게 처리(MAU, DCC 그리고 PMS로 온도, 습도 등 클린룸 환경에 맞게)하여 클린룸에 공급하니다. MAU는 외부 공기를 적합하게 처리하여 급기를 제공하고 클린룸 내 양압을 유지해줍니다. DCC는 공정장비, 인원을 통해 발생되는 현열을 관리해줍니다. PMS는 클린룸 상대습도를 유지하기 위해 수분무 가습을 제공합니다.

장비 구성 및 성능

MAU
Supply Fan : Air Volume(44,000), Total Supply Press(210mmAq), Size(Plenum), Motor(74Kw), Elec(3ph, 440V, 60Hz)
Pre-Heating Coil : 280,000(kcal/h), 467L/min
Pre-Cooling Coil : 270,000(kcal/h), 563L/min
After Cooling Coil : 260,000(kcal/h), 542L/min
Heating Coil : 230,000(kcal/h), 383L/min
Filter : Pre(Panel 85), Medium(Panel 90), Demister(90), HEPA(99.97)
DCC
Cooling Cap : 18380(kcal/h)
Air Volume : 22,200 m3/h
Velocity : 2.5m/s
Flow Rate : 76.6L/min
PMS
분사량 : 20 kg/h / set
압력 : 1 kg/cm2
Air 분사량 : 10Nm3/h
Air 압력 : 3~3.5kg/cm2

e-Tube 로그인

장비 매뉴얼