1. 전극저항계(Electrode Resistance Meter)
1.1. 기본 사양
1.1.1. 측정 항목 : 직류 저항, 온도(전극저항 계산 소프트웨어에서 자동으로 측정 및 제어 가능해야 함)
1.1.2. 저항 측정 신호 : 정전류
1.1.3. 저항 측정 방식 : 직류 4단자법
1.1.4. 저항 측정 단자 : 테스트 픽스처 커넥터
1.1.5. 저항 측정 범위 : 레인지 구성 : 1000mΩ, 10Ω, 100Ω, 1000Ω, 10kΩ, 100kΩ, 1000kΩ, 10MΩ
1.1.6. 정전류 발생 범위 : 1uA(최소) ~ 10mA(최대)
1.1.7. 테스트 픽스쳐 커넥터 : D-Sub 50pin receptacle
1.1.8. 온도 측정 단자 : 별도 온도 센서로 측정
1.2. 정확도 사양
1.2.1. 저항 측정 정확도 : ±0.1%rdg. ±0.1f.s. (대표치)
1.2.2. 온도 측정 정확도 : ±0.50℃ (대표치)
2. 전극저항 계산 소프트웨어
2.1. 기능 사양
2.1.1. 연산 항목 : 합재층 체적 저항률[Ωcm], 합재층 면적 저항률[Ω㎠](전환), 계면 저항[Ω㎠]
2.1.2. 연산 방식 : 유한 체적법에 의한 전위 분포의 역문제 해석
2.1.3. 측정 시간 (대표치)
2.1.3.1. 콘택트 체크 : 4s 이내
2.1.3.2. 자동 레인지 : 8s 이내
2.1.3.3. 전위 측정 : 18s 이내
2.1.3.4. 연산 : 30s 이내
2.1.3.5. 합계 약 60s
2.1.3.6. 저항 레인지 선택 (수동 레인지) : 1000 mΩ, 10 Ω, 100 Ω, 1000 Ω, 10 kΩ, 100 kΩ, 1000 kΩ, 10 MΩ 선택 가능
2.1.3.7. 전위 측정+연산 : 전위 측정과 연산을 이어서 실행
2.1.3.8. 전위 측정 : 측정한 전위를 파일에 저장(1 측정, 1파일)
2.1.3.9. 연산 : 전위 측정에서 저장된 전위 파일을 읽어들여 연산하고 결과를 파일에 저장, 복수 파일 선택 가능하며, 연속으로 연산 실행함
2.1.4. 전류 이상 검출 기능 : 전류 이상을 검출하여 측정을 중단하고, 레인지 변경을 촉구(ERROR 표시)
2.1.5. 저항 오버 레인지 검출 기능 : 저항 값의 오버 레인지를 검출하여 레인지 변경을 촉구(ERROR 표시)
2.1.6. 콘텍트 체크 기능
2.1.6.1. 2단자 측정으로, 프로브와 측정 대상과의 접촉 저항을 간이적으로 측정하여 일정 역치 이상일 경우 콘택트 에러로 판단
2.1.7. 측정 신뢰도 표시 기능
2.1.7.1. 측정한 전위의 정합성 : PASS / FAIL
2.1.7.2. 측정한 전위의 전류 채널 별 편차 : 전위의 변동계수 [%]
2.1.7.3. 에러 데이터 제거 기능으로 제거한 데이터의 비율(에러율) : [%]
2.1.8. 측정 대상의 정보 입력
2.1.8.1. 합재층 두께 [µm]
2.1.8.2. 집전체 두께 [µm]
2.1.8.3. 집전체의 체적 저항률 [Ωcm]
2.1.9. 연산 신뢰도 표시 기능 : 연산 결과의 신뢰도를 표시
2.1.9.1. 반복 횟수 [회]
2.1.9.2. 실측 전위와 계산 전위의 일치도