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- i-Tube No. 2106-C-0378
- NTIS No NFEC-2021-06-271184
- 설치기관 한국생산기술연구원
- 주소 광주광역시 북구 첨단과기로208번길 6 (오룡동)
- 담당자 김영백 (T. 062-600-6520 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
에스브이에스
-
모델 명
MSX1000
내용연수11년
-
구분
주장비
용도시험
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 트랙장비
-
취득일
2021-06-18
취득금액120,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰 직접사용
설치형태고정형
-
사용료 형태
건별
장비 사용료33,000원
장비설명
본 Track system 장비는 반도체기준 6인치/8인치 wafer, 디스플레이 기준 기판(200⨉200mm2)에 PR Coating/Developer /hot plate/ chill plate/Robot으로 구성되어 있는 장비로 광반도체 소자 및 OLED 유기발광소자 제작에 사용하는 장비임.
장비 구성 및 성능
Hot plate unit
- Substrate size : glass 전용 200x200 - - - > 6”/8”(wafer type)
- Proximity pins: 0.1 ~ 0.2mm gap
Robot Unit
- 제어축수: 5축
- 가반중량: 0.5kgf
- 구동원: AC servo motor
Centering unit
- Substrate size : 6”/8”
- Wafer 감지 sensor 설치
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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