ㅇ접촉식
-3.5M MPE 기준 SPAT : 0.045mm(0.0018“) 또는 이하
-3.5M MPE 기준 EUNI : 0.062mm(0.0024“) 또는 이하
-3.5M MPE 기준 PSIZE : 0.020mm(0.0008“) 또는 이하
-3.5M MPE 기준 PFORM : 0.039mm(0.0015“) 또는 이하
-3.5M MPE 기준 LDIA : 0.090mm(0.0035“) 또는 이하
ㅇLaser Scanner 단독 성능
-정밀도 :±25㎛(±0.001“)이하
-반복성 :±25㎛, 2σ(±0.001“)이하
-스탠드 오프(Stand-off) : 115mm(4.5“) 동등 또는 이상
-피사계 심도(Depth of field) : 115mm(4.5“) 동등 또는 이상
-실제 스캔폭 : 근거리장 80mm (3.1“) 동등 또는 이상, 원거리장 150mm (5.9“) 동등 또는 이상
-라인당 포인트 :　4000포인트/라인 동등 또는 이상
-최소 포인트 간격 : 20㎛(0.0015”) 동등 또는 이하
-스캔 속도 : 600Hz이상, 300 fps x 4000포인트/라인 = 1,200,000 포인트/초 이상
-레이저 : 2M 등급
-Blu laser HD급 이상 LLP
-비접촉식 측정 System Accuracy : 3.5M 측정 기준 0.066mm (0.0026in) 또는 그 이하 (MPE 기준)