(주)유니젯
InnoJet370OLED봉지 잉크젯
10년
주장비
생산
기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프린팅장비
공동활용서비스
2025-05-27
1,870,000,000원
없음
Drop volume ; 6,13,30 pL
Thickness : 0.5~25 ㎛
Uniformity : ≤ 5%
타점 정밀도 : ≤ ±20㎛
도포 Linearity 정밀도 : ≤ ±50㎛
Start position repeatability accuracy : ≤ ±5㎛
Head Unit : 2 ea
Head : Konica KM1024i
Resolution 360dpi(70.3㎛ )
Print width : 72.12mm
Heating temperature : Max.45℃
Plate temperature Uniformity : ≤±2℃ @20, 50 ℃
Uniformity (UV Curing) : ≤±10%
전체 OLED 제조 공정중 마지막 공정으로 봉지 공정이 있다.
봉지 공정에는 여러가지가 있지만, 현재의 패널에 활용되는 장비는 무기막/유기막/무기막 형식의 다층 박막을 형성한다.
이 다층박막을 통해 외부로부터의 습기, 산소등이 형성된 OLED유기재료에 침투/투습 되지 않게 한다.
무기막/유기막/무기막 다층 공정을 TFE(Thin film encapsulation)라고 하는데, 해당 봉지 잉크젯은 TFE 공정중 유기막을 모노머 재질로 프린팅해 형성한다.
완성된 TFE의 성능은 WVTR(Water Vapor Transmission Rate)로 검증을 진행하는데 OLED에 활용되는 TFE의 WVTR은 약 10^-6 g/m^2/day 이상 이어야 한다. 해당 장비는 OLED Device의 TFE 유기막형성, Micro-OLED의 TFE공정, Low K절연층 인쇄 등에 사용될 수 있다.
기관의뢰 임대가능
고정형
시간별
[Hr] 300,000원
OLED디스플레이 제조공정중 OLED 레이어를 수분/산소로부터 보호하여 성능을 유지하기 위한 다층형성 봉지 공정중에서 유기막을 인쇄하는 잉크젯 시스템으로 유기막을 균일한 도막두께로 인쇄 및 경화하여 전공정에서
형성된 무기막의 파티클을 덮어서 평판화하여주고, 막의 안전성을 부여하여 이후 무기막 형성공정에서
불량이 없도록 하는 역할을 수행함.
시스템은 아래와 같이 구성한다.
- 잉크젯시스템:
UV경화 챔버를 내부에 구성하는 형태로 제작되어 하나의 시스템에서 인쇄 및 경화가 모두 완료되며
경화 후 트랜스퍼 모듈을 통해서 무기막공정으로 이송한다
잉크젯은 정밀도가 높은 모션 사양 및 온도 제어가 가능한 워크홀더를 적용하여 다양한 공정에 대응할 수
있도록 제작됨
- 트랜스퍼모듈:
2G 사이즈 자재를 잉크젯 또는 무기막장비에 이송하는 역할을 하며, 버퍼 챔버를 연결하여
직접 자재를 로딩/언로딩 할 수 있도록 하며 버퍼 챔버는 10단으로 구성한다.
- N2 chamber 시스템
모든 시스템의 운용 환경은 수분/산소 1ppm이하까지 제어할 수 있도록 N2환경을 조성하고 관리할 수 있는
enclosure 및 purifier(2 set)를 적용하여 수분/산소에 민감한 봉지 재료를 보고할 수 있도록 하며 이물
관리, 온도관리까지 정밀 제어 가능하도록 하는 역할을 수행한다.