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OLED 증착 과정에서 사용되는 FMM(Fine Metal Mask) or OM(Open Mask)등에 증착된 유기물, 금속, 등 제거 목적으로 사용합니다.

장비의 역할


FMM 세정기(Fine Metal Mask Cleaner)는 OLED 디스플레이 제조 공정에서 핵심적인 장비 중 하나로, FMM에 증착된 유기물 잔여물이나 불순물을 제거하여 FMM을 재사용할 수 있도록 하고, OLED 패널의 생산 수율과 품질을 확보하는 역할을 합니다.





FMM 재활용 및 비용 절감


FMM은 OLED 증착 공정에서 발광 유기물을 유리기판 위에 정확한 위치(픽셀)에 증착시키기 위한 “틀“ 역할을 합니다.


이 FMM은 매우 정밀하게 제작되며, 고가의 소모품입니다.


증착 공정 중에는 유기물질이 마스크의 구멍을 통과하여 기판에 증착되지만, 일부 유기물은 FMM 표면이나 구멍 주변에 들러붙어 오염됩니다.


FMM 세정기는 이렇게 오염된 FMM을 깨끗하게 세정하여 여러 번 재사용할 수 있도록 함으로써, 값비싼 FMM의 소모를 줄이고 제조 원가를 절감하는 데 크게 기여합니다.





OLED 패널 품질 및 수율 향상


FMM에 남아있는 미세한 유기물 잔여물이나 먼지, 이물질 등은 다음 증착 공정에서 OLED 픽셀의 불량을 유발할 수 있습니다. 예를 들어, 구멍이 막히거나 패턴이 비정상적으로 형성되어 화소 불량(데드 픽셀, 얼룩 등)을 초래할 수 있습니다.


FMM 세정기는 이러한 오염원을 완벽하게 제거하여 증착 공정의 정확성과 균일도를 높이고, 결과적으로 OLED 패널의 생산 수율을 높이고 최종 제품의 품질을 보장합니다.