엑스선 발생 튜브, 고진공 발생용 진공펌프, 고전압 공급장치로 이루어져 있으며 엑스선 발생 튜브는 광원으로 쓰이는 열전자를 발생시키는 Cathode Filament와 그 상부에 (+)전압이 인가되어 열전자를 가속시켜주는 Anode, 가속된 전자 빔을 집속하고 초점을 확보하는 Electro Magnetic Lens, 전자빔이 충돌하여 X-Ray를 발생시키는 Target 부로 이루어져 있음. 주요사양 및 성능은 아래와 같음.
- 관전압 : 20kV ~ 160kV
- 최대 타겟 파워 : 10W
- 최소 초점 크기 : 1.5um
- 연속 구동 가능 시간 : 10시간 이상
- 초점 위치 안정성 : +/- 1um (유지시간 4시간)
- 튜브 타입 : 엑스선 타겟 투과 발생형, 진공형, 오픈형
- 타겟 물질 구성 : 다이아몬드 기판, 텅스텐 타겟 재질
- 엑스선 방사각 : 160도