1. 샘플 챔버
1) 온도범위 : 주변 온도 ~ 150 °C
2) 압력범위 : 주변 압력 ~ 30 PSIG(207 kPa)
3) 전극 : 플레티넘 4단자
4) 전극 클램프 : 기계식, 스프링식 가능
2. 멤브레인 테스트 시스템
1) 가습기: 100% 가스 포화, 자동 급수 가능
2) 질량흐름제어 : 건식, 습식 0 - 500 sccm 3) 샘플 가스 셀렉터 : N2 또는 H2 선택
4) 가스 이슬점 측정기 : 정전 용량형 센서
5) 측정 가능 이슬점 : 0 to 100 °C
6) 정확도 : ≤0.30% of span
7) 해상도 : ≤0.1 °C
8) 센서 타입 : 써머커플 사용
9) 온도 : 최대 180 °C (챔버, 샘플),
최대 120 °C (가습기),
최대 130 °C (가스 이송 라인)
3. 임피던스 분석기 및 전위차계
1) 임피던스
Frequency range : 20uHz to 30MHz
Input Range : 10Vpk
Phase Accuracy : ≤0.05°
Gain Accuracy : ≤0.05dB
Impedance Analysis Interface
분석 소프트웨어
2) 전위차계
자동 전류 범위 : 1pA ~ 1A / 1mV ~ 10V
실시간 데이터 : 최대 500 pnts/s
스캔 속도 : 1µV/s ~ 10,000V/s
Applied potential range : ±4V, 0.01mV