- FIB optics
. 이차전자상 분해능: 4 nm @ 30 kV
. 가속전압: 0.5 ~ 30 kV
. ion source: Ga liquid metal
. vertical type ion column
- SEM optics
. 이차전자상 분해능: 0.7 nm @ 15 kV, 1.5 nm @ 1 kV
. 가속전압: 0.1 ~ 30 kV
. electron sourse： Cold type FEG
. detectors: in-lens SE, BSE
- EDS
. 100 mm^2 area detector
. 에너지 분해능:127 eV for MnKa
- 이차전지 소재 분석 및 가공용 대기비노출 챔버
. air protection loading
. air protection holder