Carl Zeiss
ZEISS
5년
옵션/액세서리(보조장치) (주장비:주사전자현미경 (SEM))
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2021-09-01
178,200,000원
기관의뢰
고정형
시간별
60,870원
기구축 SEM 워킹 챔버 내 설치하여, 극저온 상태에서 관찰부 빔 데미지 및 잔류 탄소와 산소에 의한 표면 오염 방지를 통해 있는 그대로의 시편 표면을 관찰하고 분석하기 위한 보조 장치로, 이차전지 등 신소재의 물성 향상 및 신소재 개발 가속화 지원과 나노 및 미세구조 분석 기술에 대한 선진 기관과의 격차 극복을 통한 분석 기술 경쟁력 확보에 기여
1. Cryo stage upgrade kit w/o prep chamber
1) gas cooled cold stage(to -190oC, stability better than 0.5oC)
2) Indepedent cooling of cold stage and cold trap
3) Off-column cooling with all-day runtime
2. Customized semilab shuttle for cryo stage + customized sample rod
1) Allows the sample transfer from a glovebox to the ZEISS SEM under controlled vacuum or atmosphere
2) Remote controlled shuttle open and close by an infrared
3) Shuttle can contain inert gas atmosphere or vacuum
4) Allows cryo sample transfer between ZEISS SEM and cryo stage