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- 퍼니스
- i-Tube No. 2508-C-0129
- NTIS No NFEC-2025-06-306649
- 설치기관 (재)충남테크노파크
- 주소 충청남도 천안시 서북구 직산로 136 (재)충남테크노파크천안밸리
- 담당자 김경래 (T. 041-589-0958 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
비아트론
-
모델 명
퍼니스
내용연수9년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 열처리장비
장비활용범위공동활용서비스
-
취득일
2025-08-11
취득금액726,000,000원
-
인증정보
없음
-
기능
Process temperature(range) : 80℃ ~ 450℃
Temp range in ramp up area : Heat Rate 0.1~5℃/min 이상
Process type : Activation anneal / contact anneal
Keep temperature
≤±10℃(N2 2,000SLM FLOW)
≤±3℃(N2 100SLM FLOW)
Temperature range in cooling down :
Cooling Rate ≤ 5℃/min → △60℃ (2,000SLM+SCK)
Cooling Rate > 5℃/min → △80℃ (2,000SLM+SCK) -
장비 상세설명
1. 디스플레이 전공정 LTPS(Low Temperature Poly Silicon) TFT(Thin Film Transistor)의 탈수소화 열처리, 도핑 후 Activation 열처리, Anode 전극 완성 후 열처리 목적
2. 용액공정 및 소재 특성의 향상과 신공정 개발을 위한 열처리 조건 평가
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
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사용료 형태
시간별
장비 사용료[Hr] 149,000원
장비설명
1. 디스플레이 전공정 LTPS(Low Temperature Poly Silicon) TFT(Thin Film Transistor)의 탈수소화 열처리, 도핑 후 Activation 열처리, Anode 전극 완성 후 열처리 목적
2. 용액공정 및 소재 특성의 향상과 신공정 개발을 위한 열처리 조건 평가
장비 구성 및 성능
◦Max. temperature : 650℃ 이상
◦Process temperature(range) : 80℃ ~ 450℃
◦Stand-by temp : 80℃ ~ 120℃
◦O2 Control : <2000ppm
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
i-Tube 대표문의 : 1811-9126 / KIAT 대표 콜센터 : 02-6009-3000
