1)AFM 컨트롤러
- X/Y/Z 콘트롤 회로 : 3축 Closed-loop Feedback 위치제어

2)수평(XY) 스캐너
- 측정 범위 : 최대 100 ㎛ x 100 ㎛
- 분해능 : 0.3 ㎚ RMS 이하

3)수직(Z) 스캐너
- 측정 범위 :　최대 15 ㎛

4)스테이지
- 최대 샘플 사이즈 : 직경 100 ㎜ (두께 : 최대 25 ㎜
- 샘플 중량 : 최대 600 g

5)비디오 광학 현미경 해상도 : 5M pixel

6)측정모드
- Contact
- Tapping(Non Contact)
- Electrostatic Force Microscopy
- Magnetic Force Microscopy