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장비정보

제작사
STI
모델 명
SSI_5C_P1

내용연수
9년
구분
주장비

용도
생산
표준 분류
기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 트랙장비

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2025-05-23

취득금액
3,615,150,000원
인증정보
없음
기능
포토트랙 시스템(Photo Track System)은 포토리소그래피 공정 전반의 자동화된 전·후처리 및 이송을 담당하는 장비로,
기판 포토레지스트(PR)를 도포하고, 노광(Exposure) 및 현상(Development) 공정을 연속적으로 수행하는 역할함
장비 상세설명
PR 코터 (PR Coater)
- 포토레지스트 도포 웨이퍼 표면에 PR을 균일한 두께로 도포하는 장치. 회전(Spin) 방식으로 PR을 분사하고 원심력으로 확산시킴.
VCD (Vacuum Dehydration Chamber)
- 탈수 베이크 기판 표면의 수분을 제거하여 PR의 접착력 향상. 진공 상태에서 열처리.
HP (Hot Plate)
- 베이크 공정 PR 코팅 후 소프트베이크(Soft Bake), 노광 후 포스트베이크(Post Exposure Bake) 등 단계별 열처리 수행.
세정기 (Scrubber / Cleaner)
- 세정 기판 표면의 오염물, PR 잔여물, 파티클 등을 제거하는 장비.
현상기 (Developer)
- 패턴 현상 노광된 PR을 화학적으로 제거하여 패턴을 가시화하는 장치. 현상액(Solvent)과 린스공정을 포함.
로봇팔 (Transfer Robot)
- 기판 이송 각 공정 모듈 간 웨이퍼를 자동으로 이송. 위치 인식 및 정렬 기능 포함.

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
건별

장비 사용료
[EA] 504,000원

장비설명

자동 클러스터 시스템: 각 모듈(코터, 베이크, 노광, 현상)이 하나의 라인으로 연결되어 있으며, 중앙의 로봇팔이 자동으로 기판을 이동.
클린룸 대응 구조: Class 100 이하의 클린 환경에서 작동, 오염 최소화.
정밀 온도/습도 제어: 베이크 온도, 노광 세기, 현상 시간 등을 미세 조정 가능.
레시피 기반 자동운전: 품종 및 공정 조건에 따라 Recipe를 입력하면 자동으로 최적 조건 운전.
모듈형 구조: 각 공정 유닛 교체 및 업그레이드 용이.

장비 구성 및 성능

1. LOADER/UNLOADER
1) Loader/Unloader
- Loading type : CST(Cassette) loading type
- Glass move type : Horizontal
- Frame material : Aluminum profile
- Cover material : Anti-static transparent PC
- Front & Back out door material : Anti-static transparent PC
- Inner fixed cover material : Anti-static transparent PC
- Aligner type : Air cylinder
- Aligner material : PEEK
- CST sensing : Photo sensor
- EFU(Equipment Fan Filter Unit)

2. PPCLN(Pre-Photo Cleaner)
1) 세정기 모듈
(1) Loader/Unloader
- Loading type : Robot Glass loading type
- Receiving method : Big roller conveyor
- Roller Material : Carbon Roller(CNT)
- Bearing Material : SUS
- Frame material : Aluminum profile
- Cover material : Anti-static transparent PC
- Front & Back out door material : Anti-static transparent PC
- Inner fixed cover material : Anti-static transparent PC
- Aligner type : Air cylinder

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