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장비정보

제작사
에프엔에스테크
모델 명
습식박리기

내용연수
9년
구분
주장비

용도
생산
표준 분류
기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 트랙장비

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2025-03-25

취득금액
601,145,290원
인증정보
S마크
기능
디스플레이 패널 제조 공정 중 포토리소그래피 공정을 거쳐 패턴이 형성된 유리 기판에 잔존하는 포토레지스트를 제거하는 장비입니다. 유기계 또는 수계 박리액을 분사하여 포토레지스트를 제거합니다.
장비 상세설명
패널 제조 공정에서 유리 기판에 형성할 금속/절연막 위에 남아있는 포토레지스트를 제거하는 역할을 수행하는 장비입니다. 박리액을 분사하여 포토레지스트 박리 뿐만 아니라 초순수 분사로 기판에 잔존하는 포토레지스트와 이물을 제거합니다.

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
시간별

장비 사용료
[Hr] 378,695원

장비설명

OLED 패널 제조 시 포토리소그래피 공정을 통해 형성된 금속/절연막 패턴층 위에 남아 있는 코팅 된 포토레지스트를 수계 또는 유기계 박리액을 분사하여 제거하는 장비입니다. 공정 중 품질 불량의 원인이 되는 기판 표면에 부착 이물 및 잔류 유기물을 효과적으로 세정하도록 구성되었습니다.

장비 구성 및 성능

1. 장비 구성
- Loader, Unloader Unit
- Neutral Bath
- Strip Bath
- Rinse Bath
- Air Knife Unit
2. 성능
- Glass Size : 370mm x 470mm
- 공정 진행 전후 Glass Damage 없음
- 공정 성능 : 박리 후 Photo Resis 잔사 없음
건조 후 워터 마크, Mura 얼룩 없음
- Software : Motion Control(Motor, Conveyor), Auto Recipe 생성, Chemical Tank 온도제어

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