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장비정보

제작사
나인테크
모델 명
습식식각기

내용연수
9년
구분
주장비

용도
생산
표준 분류
기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 식각장비

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2025-03-25

취득금액
509,983,800원
인증정보
CE, KCs자율
기능
디스플레이 패널 제조 공정 중 유리기판 위에 증착된 금속막의 특정 부위를 식각액을 통해서 제거하는 설비입니다.
장비 상세설명
디스플레이 패널 제조 공정 중 포토리소그래피 공정을 통해 형성된 포토레지스트 패턴을 이용한 케미컬 식각으로 금속막 패턴을 형성하고, 초순수 세정을 통해 잔류 메탈 성분과 이물을 제거하는 장비입니다.

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
시간별

장비 사용료
[Hr] 356,830원

장비설명

OLED 패널 제조 공정 중 코팅 된 포토레지스트에 포토리소그래피 및 현상 공정을 통해 형성한 포토레지스트 패턴을 식각액 분사를 통해 Metal 및 Oxide막에 대한 식각을 수행하는 설비입니다. 공정 중 품질 불량의 원인이 되는 기판 표면의 부착 이물 및 잔류 금속을 효과적으로 세정하도록 구성되었습니다.

장비 구성 및 성능

1. 장비 구성
- Loader, Unloader
- AP Plasma Unit
- Neutral Bath
- Etch Bath
- Rinse Bath
- Air Kinfe Unit
2. 성능
- Glass Size : 370mm x 470mm
- 공정 진행 전후 Glass Damage 없음
- 공정 성능 : 식각 Uniformity +-5% 이하
건조 후 워터마크, Mura 얼룩 없음
- Sofrware : Motion Control(Motor, Conveyor), Auto Recipe 생성, Chemical Tank 온도제어, AP Plasma Parameter Set

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