1. 챔버 용량 : 1,000 L
2. Door type : Double door
3. 세척 랙 : 2대
4. 이동대차 : 2대
5. User interface : Touch panel screen
6. Recipe : 20개 이상 저장 가능
7. 실시간 모니터링 : 파라미터 및 기기 상태 표시
8. 전도도 모니터링 : 세척 및 Final 린스 모니터링
9. 온도, 압력, 전도도, 레벨 센서 탑재
10. Heating system, circulation pump, detergent pump, HEPA filter 포함
11. PW, WFI sampling port 포함