DGP8761장비는 Z축, Air Spindle, Chuck Table부, Spinner table,
Position table, Loading, Unloading부 Robot부, Touch panel부,
CASSETTE부로 구성되어 있으며, 구동 방식으로는 CASSETTE로
부터 WORK를AUTO반송으로 Position table에서 위치를 확인 후,
Chuck table에 Loading되어 Full auto로 연삭까지 가능한
장비입니다.
기존의 2축 3CHUCK TABLE장비에서 일체화 되면서 3축 4CHUCK TABLE방식을 채용하였고 Grinding과 Polishing중에 발생하는 압력에 의해 Wafer의 두께를 Control하는 방식으로 설계되었으며 기존과 동일하게 편의성을 도모한 Window방식의 TOUCH PANEL
SCREEN방식을 채택 했습니다.
또한, 강력한Vacuum Pump에 의한 흡착식의 Chuck Table을 사용하여 그 위에 Work를 고정하여 Polishing하는 방식의 장비입니다.