○ 정밀급 성능시험모듈

- 정밀 석정반

크기: 5,000 ㎜ x 2,000 ㎜ x 350 ㎜
평탄도: 17 ㎛
중량: 10,500 ㎏
- 스탠드: 제진대(Isolation Mounts)

- 정밀 4면정도 스트레트 엣지

길이: 4,000 ㎜
진직도: 6㎛
○ 초정밀급 성능시험 모듈

- 초정밀 석정반

크기: 3,000 ㎜ x 1,000 ㎜ x 250 ㎜
평탄도: 6㎛
중량: 2,250 ㎏
- 스탠드: 제진대(Isolation Mounts)

- 초정밀 4면정도 스트레트 엣지

길이: 2,000 ㎜
진직도: 1.5 ㎛
 

○ 측정모듈

- 고 분해능 계측시스템

시스템 측정품목: 리니어,앵귤러(로터리),편평도,직진도 및 직각도
리니어 최대 측정범위: 80 m
리니어 측정정확도: ±0.5 ppm
분해능: 1 ㎚
최대이송속도: 4 m/s
동적 캡처 속도: 50 ㎑
- 초정밀 리니어 하이트 게이지

Measuring range up to: 350 ㎜
Resolution: 0.0001 ㎜
Repeatability plane: 0.5 ㎛
Measuring system: incremental scale with optical reading
Measuring force: 1.0 N ±0.2 N
- Inductive probe

Measuring range up to: 2 ㎜
Measuring range from: -2 ㎜
Measuring force: 0.75 N ±0.15 N
Sensitivity deviation: 0.3 %
Repeatability fw (µm): 0.1 ㎛
○ 고강성 평가 모듈

- 레디얼 방향, 역 레이디얼 방향, 횡방향 하중재현

- 하중 범위: 100 N~1,000 KN (초정밀 Loadcell 7종)

- Main Base Size: 3,200 mm x 1,000 mm x 300 mm

- 스탠드: H-Beam 구조물

- 유압 동력 발생장치 유니트 (21 ㎫)



○ 작동력 측정 모듈

- 내부 크기: 2 m x 1.5 m x 1.5 m

- 재질: (내부)Stainless Steel 304 plate, (외부)Steel Plate With Powder Coating

- 온도 제어 범위: -30 ℃ ~ 100 ℃

- 작동력 측정 시스템

Capacity: 1,000 N
Accuracy: ±0.2 % Full Scale
Overload: Approx. 200 % (Full Scale)