한국기계연구원
자체설계제작
5년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2021-07-30
1,218,676,000원
기관의뢰
고정형
기타
1원
○ 반경 방향 부하기 용량 : 100 N ~ 5,000 N
○ 축 방향 부하기 용량 : 400 N ~ 20,000 N
○ 회전 정밀도 측정 장비 응답 속도 : 10 kHz 이상
○ 회전 정밀도 측정 장비 해상도 : 0.4 μm 이하
○ 회전 속도 측정계 측정 가능 최대 회전 속도 : 100,000 RPM(1,667Hz) 이상
○ 전자석 모듈 구성 소재 전자기 특성 시험기 주파수 범위 : DC ~ 20 kHz 이상
○ 변위 센서 사양
- 응답 속도 : 10 kHz 이상
- 분해능 : 0.4 μm 이하
○ 회전 속도계 사양
- 최대 측정 회전 속도 : 100,000RPM(1,667 Hz) 이상
○ 부하 신뢰성 평가 최대 용량 : 20,000N 이상
○ 테스트 베드 크기 : 2000 X 2000 (mm2) 이상