○ 챔버 Size : ID(2000 mm) × L(1500 mm)

○ 내부 체적 : 3.8 ㎥

○ 재질 : STS 304 또는 STS 316 이상 혹은 동등한 성능을 가지는 소재

○ 형태 : Closed Loop Horizontal Cylindrical Chamber Type

○ Main Door : Butterfly Hinge Open 방식(Thermal Shroud)

○ Internal Shelf Electric RTP(Rapid Thermal Processing) Heating 장치

혹은 동등한 성능을 가지는 Heating System

- Chamber Cube Internal : Shroud wall Type

○ TMP Mounting Flange Port : Hydraulic or Pneumatic Type Gate Valve

- 4 Port TMP Mount Flange

○ Cube Internal : Sliding Plate Table

○ 하부 Base Frame : STS 304 혹은 Steel 소재를 이용하여 챔버 하중을 견딜수

있는 구조를 가질 것.(Caster 장착)

○ Spare Port

- High Vaccum Gauge & Sensor Port

- Low Vaccum Gauge & Sensor Port

- Thermocouple Port

- Vent Port

- AC/DC Power Supply Port

- O2 Monitoring Sensor Port

- ect. Connect Line Port