에코피아
HMS-5300+AMP55TP
5년
주장비
분석
기계가공·시험장비 > 반도체장비 >
2021-05-06
62,966,610원
기관의뢰
고정형
건별
100,000원
○ 원리
- 홀 효과 측정 시스템은, 전류를 흘려주고 전류가 흐르는 방향과 수직된 방향으로 자기장(Magnet power)을 인가한 후 발생하는 홀 전압(Hall voltage)을 읽어오는 것임.
- 포토닉 홀 효과 측정은, 기본적인 전류 인가와 자기장 인가 외에도 “다양한 파장대의 빛” 이라는 외부 변수를 추가해서, 이에 샘플이 반응하는 특성을 파악할 수 있음. 즉, 파장(R.G.B등) vs 캐리어 농도, 캐리어 이동도, 저항률, 홀계수.
또는 Light intensity vs 캐리어 농도, 캐리어 이동도, 저항률, 홀계수 등의 파악이 가능함
○ 특징
-본 장비는 완제품으로 조립된 디바이스의 전하 캐리어 농도 및 유동도, 홀 상수, 전기저항, 전기전도도 등의 특성을 평가할 수 있는 장비로서, 액화 질소의 퍼징을 통한 저온 평가와 고온 전기로를 이용한 고온 평가가 가능한 장비임.
- 정전류소스(constant current source), 반 데르 포 법칙(Van der Pauw technique)을 이용한 단자전환 장치, 저온(액체질소온도,77K) 측정 시스템, 자속밀도 인가 시스템 등으로 구성됨.
○ 본체
- 6 stages of current source / Input current : 1nA ~20mA (DC source)
○ 온도 컨트롤
- 저온 영역 : 80 ~ R.T. 대응 (액체 질소 순환식)
- 고온 영역 : R.T. ~ 573K (온도정확도 : ±1℃, 지그 교체로 저온/고온 교체)
○ 자석 키트
- AMP55T Magnetic flux density applying system: 자기장 세기 0.55T
○ SPCB (Spring Clip Sample Board): 3mm-20mm 크기 가변 샘플 접촉식
- In-situ 홀계수 측정 소프트웨어 탑재
○ 포토닉 홀측정용 광조사 집속시스템
- 균일광원 방사 프리즘 (20mm)