○ 사양
  - 구성
   1) 측정기 본체 - 1 set
   2) 측정 센서 - 1 set (CCLM1 1mm)
   3) 측정프로그램 - 1 set (나노웨어_Nano ware)
   4) 컴퓨터 시스템 - 1 set

  - 측정 방식
   1) 수직 : 비접촉식-3D 크로메틱 라인 스캐닝 방식, 3D 카메라 홀로그램 방식   
   2) 수평 : 인크리메탈 방식

 - 측정 테이블 사양
   1) 수직(Z) 이송범위 : 240mm 
   2) 수평(X, Y) 이송범위 : 100mm 
   3) 분해능(X, Y, Z) : 0.1 µm
   4) 위치 정확도(X, Y, Z) : 0.1 µm 
   5) 측정물 가용 무게 :　20Kg
   6) 이송 속도 : 2D - 1mm/s , 3D - 0.5 mm/s

 - 측정 센서 사양
   1) CCM-L1 1mm 
      - 수직 분해능(Z) : 80nm
      - 수평 분해능(X,Y) : 2um
      - 수직 측정 범위 : 0.95mm
      - 정확도 (Accuracy) : ±300nm
      - 작업거리 : 18.5mm±0.2mm 
      - Max. measurement angle　: 90deg+/- 33deg
      - 두께 측정 범위 : 75um~1.35mm

 - 측정기 본체 제원
    1) X = 650 mm, Y = 505 mm, Z = 698 mm

 - 측정 소프트웨어
    1) 측정 Profile의 Zoom, 자동 면 정렬, Levelling, 비측정점 채우기, 측정 Profile 추가 및 축소등의 기능 지원
    2) 측정한 3D 이미지의 추출, 붙이기, 대칭, 필터링, 줌, 형상 제거, Profile 추출 등의 3D 이미지 개선기능 지원
    3) 3D 표현 형태의 이미지 확대와 회전 및 이미지 개선 기능 지원
    4) 표면 높이의 증폭값 조정 기능 지원
    5) 매크로 기능 및 단축키 팔레트 최적화 지원
    6) 프리젠테이션에 적용할 수 있는 동영상 제작을 위한 이미지 설정 기능 지원
    7) 형상 다이어그램 및 사진의 시뮬레이션 시각화 
    8) 성적서 형태로 측정값 출력 기능 지원         

 - 측정 가능한 거칠기 파라미터 (3D)
  1) sRa. sRv. sRp. sRt. sRq. sRsk. SRku. SRk. sMR1. sMR2. sWa.  sWv.
    sWp. sWt. sWq. sWsk. sWku. sWa . sPa. sPv. sPp sPaq. Spsk, Spku.  

  - 컴퓨터 본체 사양
    1) CPU : Intel I5
       Memory :  8GB
       HDD :  1000GB
       CD-RW : x48 
       Monitor : 22“ TFT-LCD x 2 ea
       OS : Window 10
       Printer :Inkjet printer (A4)