1) 스테이지 : XY 구동 : 각 최대 25mm 구동, 2um resolution 정밀구동
2) 대면적 스캐너 : 50um X 50um X 17um(Z)
3) 라이트 레버 헤드
4) 줌 광학현미경 : 최대 400배, 2 micron resolution
5) 300만 화소 디지털 카메라
6) 컨트롤러
7) Conductive Mapping : Pre-Amplifier low/med/high
8) Dunk and scan for liquid cell : Dimension: 1.25“(dia.) x 0.33”(h)
9) Advanced F vs D curve : feedback and non-feedback modes
10) Image logger : Multi Channel measurement
11) Dual all in one 컴퓨터
12) 재진시스템