1. 엑스레이 소스 유닛
1) 튜브 타입 : 오픈튜브 듀얼타겟 타입
2) 타겟 타입 : 투과, 반사 듀얼타겟방식
3) 소스와 디텍터 사이 얼라이먼트 구조 : 수직구조
4) 전압범위 : 20 ~ 160kV
5) 튜브 전류 범위 : 0.01 ~ 0.5㎃ 혹은 그 이상
6) 최대 타겟 파워 : 225W 혹은 그 이상
7) 디텍트 성능 : 0.5 µm 혹은 그 이상
8) 최소 포컬 스팟 사이즈 : 1 µm(투과 타겟), 3 µm(반사 타겟) 혹은 그 이상
2. 샘플 조작
1) 소스에서 디텍터 거리 : 1000 mm
2) 확대배율 : 1000x 혹은 그 이상
3) X : ≥ 185 mm
4) Y : ≥ 280 mm
5) Z : ≥ 730 mm (샘플 포지셔닝)
6) 틸트 : ≥ +/- 30°(2D) (컴퓨터 단층촬영의 경우 0° 고정)
7) 회전 : 0 to 360°
8) 1/1000도 분해능의 턴테이블
9) 최대 샘플직경 : ≥ 350 mm (3D CT Scan)
10) 최대 샘플높이 : ≥ 400 mm (3D CT Scan)
11) 최대 샘플무게 : ≥ 15 kg
12) 컨트롤 타입 : 조이스틱&마우스(키보드)
13) Leakage rate : <1µSv/h