보성베큠
BS2110
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 전자빔증착기
2021-11-15
204,000,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
62,000원
전자빔증착장비 이빔은 물리적 증착방법인 PVD(Physical Vapor Deposition)방법으로 금속물질인
Au, Pt, Cr, Ni, Ti, Al를 증착시켜 LED/LD/PD 전극패드 제조에 활용한다. 금속물질에 전자빔을 주사시켜 해당물질이
열에 의해 기화되면 웨이퍼에 기화된 금속물질이 증착되는 장비이다.
○ 장비구성
- 싱글프로세스챔버 유닛
- 전자빔모듈 유닛
- 펌프시스템 유닛
- 파워서플라이 유닛
- 샘플홀더 유닛
- 박막두께측정장치 유닛
- 쉴드보호막 유닛
- 전장제어 유닛