Inno6
KrF Excimer Laser Module
5년
주장비
기타
광학·전자 영상장비 > 광파발생/측정장비 > 레이저발생장비
2021-06-15
94,000,000원
고정형
시간별
200,000원
본 과제에서 개발하는 픽셀 크기 400nm급 이미지 센서용 컬러필터 포토레지스트의 경우 248nm 광원의 조사를 통한 현상 및 패터닝 특성 연구가 필수적임. 248nm의 빛을 발생시키는 KrF 레이저 모듈은 본 과제 진행을 위한 필수 장비임
Laser Type : KrF Excimer Laser
Pulse Energy : 20mJ 이상
Repetition Rate : 500Hz(Max)
장비구성
1) KrF 엑시머 레이저 모듈 1 set
- KrF 엑시머 레이저 1 ea
- Cylinderical Lens 1 ea
- Beam Delivery Mirror 1 ea
2) Operation Software 1 ea
- KrF 엑시머 레이저 모듈 Operation Software 1 ea