정민실업
SJ-B20
11년
주장비
시험
화합물 전처리·분석장비 > 반응/혼합/분쇄장비 > 반응장비
공동활용허용
2020-11-26
147,000,000원
원
‘미세분말 기상합성 시스템’은 다양한 금속 전구체를 이용한 고순도 금속 분말 제조에 사용되는 장비이며, 이를 위해 진공 기밀을 제공하며 그에 따른 손쉬운 통합 제어시스템의 확보가 필요
□ 가열부
- 수직형 오픈타입 가열부
- 내부 규격 : <Φ140 x >2750 H mm
- 사용온도 및 전원: Max 1150℃, 220V 48kW
- 열선: 분리조립 가능한 5개 존
- 열전대: R타입 각존 양측에 배치 (총 10EA)
- 온도구배: 1000℃ 기준 5℃이내, Max 1150℃
□ 제어부
- PC이용 공정제어 및 기록
- 가스분배기: MFC 10EA, N2 2라인, H2 1라인
- 솔레노이드 밸브 10EA
- 가스 감지기 및 인터락